2.1 物理氣相沉積（PVD）技術(shù)的發(fā)展 習(xí)慣上，把固體(液態(tài))鍍料通過高溫蒸發(fā)、濺射、電子束、等離子體、激光束、電弧等能量形式產(chǎn)生氣 相原子、分子、離子(氣態(tài)，等離子態(tài))進(jìn)行輸運(yùn)，在固態(tài)表面上沉積凝聚，生成固相薄膜的過程稱為物理 氣相沉積(PVD)。 物理氣相沉積（PVD）技術(shù)產(chǎn)生于上世紀(jì)七十年代末，因?yàn)樗墓に嚋囟瓤刂圃?500℃以下， ，可作為* 終處理工藝用于高速鋼類刀具的涂層。PVD 技術(shù)大大提高了高速鋼刀具切削性能，該項(xiàng)技術(shù)與八十年代得 到迅速推廣。八十年代后期，一些發(fā)達(dá)國家 PVD 涂層高速鋼刀具比例已占市場已超過了 60%。 高速鋼刀具成功應(yīng)用 PVD 技術(shù)，引起了世界各國的青睞與重視，各國噴砂機(jī)研究者在不斷開發(fā)高的性能、高可靠性涂層裝備的同時(shí)，也對(duì)其應(yīng)用領(lǐng)域進(jìn)行了更加深入的研究，以進(jìn)行擴(kuò)大，特別是在硬質(zhì)合金刀具、陶 瓷刀具方面的應(yīng)用。與 CVD 涂層技術(shù)相比，PVD 技術(shù)的處理溫度低，刀具材料抗彎強(qiáng)度通常溫度在 600℃ 以下不會(huì)產(chǎn)生影響；薄膜的內(nèi)部為壓應(yīng)力，因此，適合涂層硬質(zhì)合金精密復(fù)雜類刀具，PVD 技術(shù)對(duì)環(huán)境不 會(huì)產(chǎn)生不利影響，更加符合綠色工業(yè)發(fā)展的方向。伴隨著高速加工時(shí)代的到來，硬質(zhì)合金刀具、陶瓷刀具 使用的比例必然上升，高速鋼刀具使用的比例必然下降。因此，一些發(fā)達(dá)國家在九十年代初便將重心轉(zhuǎn)向 硬質(zhì)合金刀具 PVD 涂層技術(shù)的研究，九十年代中期，PVD 涂層技術(shù)在硬質(zhì)合金刀具上的應(yīng)用已取得了突 破性的進(jìn)展，當(dāng)時(shí)已普遍在銑刀、銑刀片、各種鉆頭、鉸刀、絲錐、等的刀具上應(yīng)用。 從大的方面來看，現(xiàn)在國際上的 PVD 涂層技術(shù)大致可分成真空蒸鍍、濺射、離子鍍，但從這三種主要的 鍍膜技術(shù)衍 生出了各式各樣的新技術(shù)。伴隨著 PVD 技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，科學(xué)家們把離子束、等離子體引入 到 PVD 涂層技術(shù)上，同時(shí)通入某些反應(yīng)氣體，由化學(xué)反應(yīng)來制備金屬鍍層，因此，噴砂機(jī)當(dāng)前的 PVD 涂層技術(shù) 已不是原先單純的物理制備過程，PVD 涂層技術(shù)和 CVD 涂層技術(shù)已經(jīng)相互交融。單一的涂層材料顯然無 法滿足綜合刀具機(jī)械性能的要求，無法被市場接受，涂層材料正向著多元不斷的發(fā)展。